什么叫退火炉
退火炉是在半导体元器件生产制造中应用的一种加工工艺，其包含加温好几个半导体材料芯片以危害其电气性能。热处理工艺是对于不一样的实际效果而设计方案的。广东海瑞拓觉得，能够加温芯片以激话掺杂剂，将薄膜转化成薄膜或将薄膜转化成芯片衬底页面，使高密度堆积的薄膜，更改生长发育的薄膜的情况，修补引入的损害，挪动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜迁移到另一个薄膜或从薄膜进到圆晶衬底。退火炉能够集成化到别的火炉解决流程中，比如空气氧化，或是能够自身解决。退火炉是由专业为加温半导体材料芯片而设计方案的机器设备进行的。退火炉是环保型周期时间式作业炉，超环保节能构造，选用纤维组织，省电60%
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